毫厘之间见真章

  【一线讲述】

  实现纳米尺度下的精密制造，是世界级难题，也是我一直以来追赶的目标。

  从美国硅谷到中国光谷，归国这十几年，我和团队主攻纳米制造，在毫米的百万分之一尺度下观察原子的性质和变化。在这样小的空间里，肉眼不可见，手指触不着，我们必须借助先进的探测手段。但是光探测还不够，更难的地方在于要实现精准的操控。

  我们实现纳米甚至原子尺度下精确制造的方法叫作“选择性原子层沉积技术”。“原子层沉积”就像搭积木一样，通过物质表面与反应物分子发生反应和原子替换，从而实现由原子一层层搭建“高楼大厦”的效果，每层的精度可达到埃米级，如今这已成为微纳制造研究的热点之一。而“选择性原子层沉积技术”则更进一步，只在特定表面、特定位置发生“原子积木”的搭建，其他表面维持原状。这一技术的突破对于半导体行业而言意义重大。为了尽早实现工艺产业化，创造社会价值，我们团队正在积极开发选择性沉积设备，争取在相关领域早日投产。

  我是一名科技工作者，也是一名高校教师，目前承担三门本科生课程、一门研究生课程，还承担着湖北省本科教改项目“面向新工科的纳米制造系列课程体系建设”。我经常跟学生说，要以勤奋为基，以赤诚之心和实际行动回报祖国和社会。而我，会继续当好追梦的奋斗者和学生的筑梦人，用科技强国的火炬点亮星空。

  项目团队：

  本报记者 张胜、王建宏、张锐、颜维琦、龙军、禹爱华、赵嘉伟、赵秋丽、冯帆、周洪双

  本报通讯员 庹炼