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    光明日报 2016年11月12日 星期六

    我科学家制造出世界面积最大的中阶梯光栅

    作者:本报记者齐芳 《光明日报》( 2016年11月12日 04版)

        【科技前沿】 

     

        本报北京11月11日电 记者齐芳从中国科学院获悉,由中国科学院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11日顺利通过国家验收。利用这一系统,我国制造出世界面积最大的中阶梯光栅,标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到国际水平。

     

        衍射光栅是具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件,是光谱仪、激光器等高技术装备的核心部件,被广泛地用于光通信、天文学、新能源等战略高技术领域。在众多种类的光栅中,中阶梯光栅是面积最大、精度最高,在战略高技术设备中应用较为广泛的一种。一直以来,国外对我国进口大面积、高精度中阶梯光栅实行严格限制。因此,2008年,在中国科学院和财政部共同支持下,长春光机所开始“大型高精度衍射光栅刻划系统”的研制工作。

     

        历时8年,攻克18项关键技术难关、取得9项创新性成果,我国科学家终于自主研发出这台光栅刻划机,造出了面积达400毫米×500毫米的世界最大面积的中阶梯光栅。同时,其精度达到10个纳米,参与研制的科研人员解释说:“这台机器的刻槽精度非常高,在约20公里行程范围内,刻槽间距误差要小于头发丝粗细的一千分之一。”

     

        验收组认为,大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功,不仅打破了我国高精度大尺寸光栅受制于人的局面,推动我国光谱仪器等行业由低端向高端发展,而且也将辐射、带动精密机械学科和产业的创新发展。

     

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