多线切割机研制成功

    本报北京1月17日电 记者邢宇皓今天从中国电子科技集团了解到,由该集团承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”课题之一——“300mm多线切割机研制”近日获得成功。这项具有完全自主知识产权的设备研制成功,将打破我国国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状。

    “硅片切割”,是太阳能光伏电池制造工艺中的关键部分。简言之,该工艺是要用线锯把单晶硅或多晶硅的固体硅锭切成很薄的硅片,作为制造光伏电池的基板。由于硅片是晶体硅光伏电池技术中最昂贵的部分,所以降低这部分的制造成本对于提高使用太阳能的竞争力至关重要。

    由中国电科集团自行设计、配套的“300mm多线切割机技术”,克服了断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等实际问题,可一次性切割156mm×156mm的硅片5000片至6000片,并与“601太阳能多线切割机”等一道,形成系列化的多线切割设备,占据了该领域的国内技术制高点。据悉,中国电科已与全球最大的太阳能硅片企业签订了战略合作协议,进行大线锯的研发,预计将在今年6月前后完成商业机型的生产线工艺验收。