国产设备生产12英寸晶圆突破千万片次

    本报北京12月9日电 记者张景华9日从北京经济技术开发区获悉，截至今年11月，中芯国际北京厂使用国产设备生产12英寸晶圆突破“千万片次大关”，打破了芯片生产设备由欧美日垄断的局面，为我国集成电路产业实现自主发展奠定了坚实基础。

    晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，集成电路俗称芯片，是高端制造业的核心。一片12英寸的晶圆可以容纳成百上千颗芯片。12英寸集成电路国产设备是实现我国集成电路芯片自主制造的基础，设备要求高，系统复杂。长期以来，该设备主要由美日德等原设备供应商供应，国内没有成熟的生产链。

    2008年以来，国家重大科技专项组织“产学研”各方力量，推动集成电路国产装备的开发和产业化，把目标定位在世界上最先进的65纳米、40纳米、28纳米技术节点上，由行业龙头企业牵头，使国内集成电路代工厂与设备制造企业实现对接，为国产设备在中国集成电路产业链中的大面积应用打开了局面，为国产设备企业走向世界奠定了基础。

    作为国内规模最大、技术最先进的集成电路制造企业，中芯国际拥有国内唯一一条实现持续盈利的12英寸集成电路生产线，汇聚了众多专业制造芯片的设备供应商，包括北方微电子、中科信、中微半导体、华海清科、京仪自动化等。他们在其擅长的工艺领域突破了国外同类产品垄断的局面，逐渐形成自主知识产权的核心技术。

    北京经济技术开发区投资促进局局长王延卫表示，目前开发区已形成了集制造、封测、装备、零部件及材料、设计企业在内的完备的集成电路产业链，率先在国内建成首条12英寸集成电路生产线，确立了北京在全国产业布局中的领先地位。下一步，开发区将重点选择一批产业基础较好、支撑国家信息安全需要的关键产品进行重点突破，包括移动通信芯片、存储器芯片、驱动芯片、传感器芯片四大类主要产品。