我科学家制造出世界面积最大的中阶梯光栅

    【科技前沿】 

    本报北京11月11日电 记者齐芳从中国科学院获悉，由中国科学院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”11日顺利通过国家验收。利用这一系统，我国制造出世界面积最大的中阶梯光栅，标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到国际水平。

    衍射光栅是具有纳米精度周期性微结构的精密光学元件，是光谱仪、激光器等高技术装备的核心部件，被广泛地用于光通信、天文学、新能源等战略高技术领域。在众多种类的光栅中，中阶梯光栅是面积最大、精度最高，在战略高技术设备中应用较为广泛的一种。一直以来，国外对我国进口大面积、高精度中阶梯光栅实行严格限制。因此，2008年，在中国科学院和财政部共同支持下，长春光机所开始“大型高精度衍射光栅刻划系统”的研制工作。

    历时8年，攻克18项关键技术难关、取得9项创新性成果，我国科学家终于自主研发出这台光栅刻划机，造出了面积达400毫米×500毫米的世界最大面积的中阶梯光栅。同时，其精度达到10个纳米，参与研制的科研人员解释说：“这台机器的刻槽精度非常高，在约20公里行程范围内，刻槽间距误差要小于头发丝粗细的一千分之一。”

    验收组认为，大型高精度光栅刻划系统以及大面积中阶梯光栅的研制成功，不仅打破了我国高精度大尺寸光栅受制于人的局面，推动我国光谱仪器等行业由低端向高端发展，而且也将辐射、带动精密机械学科和产业的创新发展。